magnetron

Depozice tenkých vrstev magnetronovým naprašováním

Řez Mo/Si multivrstvou deponovanou v naší laboratoři (TEM)

Tenké vrstvy připravujeme pomocí magnetronového naprašování na komerční naprašovačce LEYBOLD-HERAEUS Z 550. Toto zařízení umožňuje produkovat malé série nebo jednotlivé kusy s maximálním průměrem 100 mm a tloušťkou 20 mm. Naprašovačka je vybavena třemi magnetrony s průměrem terče 152 mm (typická tloušťka terče je 6 mm) pro naprašování až tří různých materiálů během jednoho vakuového cyklu.

Depozice a testování tenkých vrstev

Řez Mo/Si multivrstvou deponovanou v naší laboratoři (TEM)

Tenké vrstvy připravujeme pomocí magnetronového naprašování na komerční naprašovačce LEYBOLD-HERAEUS Z 550. Může být naprašován jakýkoliv materiál, ze kterého je možné vyrobit terč s výše uvedenými rozměry. Rozmezí tlouštěk deponovaných vrstev je od jednotek nanometrů po jednotky mikrometrů. Jsme schopni deponovat i multivrstvy, např. multivrstvové molybden/křemíkové systémy, které mohou být použity pro rentgenové záření v rozmezí vlnových délek od 12 nm do 30 nm. Pro charakterizaci odolnosti tvrdých otěruvzdorných nanokompozitových a multivrstvových povlaků a monovrstev, určených pro dynamická zatížení, používáme dynamický rázový test.

Syndikovat obsah