Tenké vrstvy

Vytváření tenkých vrstev.

Depozice tenkých vrstev magnetronovým naprašováním

Řez Mo/Si multivrstvou deponovanou v naší laboratoři (TEM)

Tenké vrstvy připravujeme pomocí magnetronového naprašování na komerční naprašovačce LEYBOLD-HERAEUS Z 550. Toto zařízení umožňuje produkovat malé série nebo jednotlivé kusy s maximálním průměrem 100 mm a tloušťkou 20 mm. Naprašovačka je vybavena třemi magnetrony s průměrem terče 152 mm (typická tloušťka terče je 6 mm) pro naprašování až tří různých materiálů během jednoho vakuového cyklu.

Účast na 52. Mezinárodním strojírenském veletrhu MSV 2010 Brno

MSV 2010 - Ing. Vlček u elektronové svářečky

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i. bude ve dnech 13. až 17. září 2010 vystavovat na 52. mezinárodním strojírenském veletrhu v Brně – PAV A1 023. Skupina Speciální technologie se bude prezentovat elektronovou svářečkou MEBW-60/2-E v provozu, expozicí příkladů svarů vyrobených elektronovou svářečkou, vakuovými průchodkami a vzorky nanovrstev a RTG optiky.

Rádi Vás uvidíme na našem stánku!

Multivrstvy pro rentgenovou optiku

Řez Mo/Si multivrstvou deponovanou v naší laboratoři (TEM)

Deponujeme multivrstvové molybden/křemíkové systémy, které mohou být požity pro rentgenové záření v rozmezí vlnových délek od 12 nm do 30 nm. Maximální hodnoty odrazivosti dosahují až 70 % pro kolmý dopad.

Dynamické rázové testování tenkých vrstev

Dynamické rázové testování tenkých vrstev - detail

V současné době jsme jedním ze dvou pracovišť v Česku, které nabízí charakterizaci tvrdých otěruvzdorných povlaků dynamickým rázovým testerem.

Pro charakterizaci odolnosti tvrdých otěruvzdorných nanokompozitových a multivrstvových povlaků a monovrstev, určených pro dynamická zatížení, používáme dynamický rázový test. Rázové testování povlaků bylo navrženo Knotkem a kol. v roce 1990. Během testování je povrch vzorku cyklicky zatěžován wolfram-karbidovou kuličkou. Tento test simuluje širokou škálu tribologických systémů.

Depozice a testování tenkých vrstev

Řez Mo/Si multivrstvou deponovanou v naší laboratoři (TEM)

Tenké vrstvy připravujeme pomocí magnetronového naprašování na komerční naprašovačce LEYBOLD-HERAEUS Z 550. Může být naprašován jakýkoliv materiál, ze kterého je možné vyrobit terč s výše uvedenými rozměry. Rozmezí tlouštěk deponovaných vrstev je od jednotek nanometrů po jednotky mikrometrů. Jsme schopni deponovat i multivrstvy, např. multivrstvové molybden/křemíkové systémy, které mohou být použity pro rentgenové záření v rozmezí vlnových délek od 12 nm do 30 nm. Pro charakterizaci odolnosti tvrdých otěruvzdorných nanokompozitových a multivrstvových povlaků a monovrstev, určených pro dynamická zatížení, používáme dynamický rázový test.

Syndikovat obsah